目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>薄膜制備全套設備>>3靶等離子濺射儀>> VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀
3靶等離子濺射儀技術參數(shù)
輸入功率 |
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輸出功率 |
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樣品室 | 石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height |
加熱樣品臺 |
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控制面板 |
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可選
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進氣口 | 一個精密可調針閥安裝在進氣口,以實現(xiàn)方便的調節(jié)進氣量 |
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標配靶材分別有
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外形尺寸 |
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質保期 | 一年質保期,相關耗材除外,終身維護。 |
質量認證 | |