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靈巧型勻膠機(jī) 型號(hào):EZ6
EasyCoater 6勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制,5寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,簡單易用。EZ6勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
EZ6勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,程控操作,且能夠升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出,具有優(yōu)異的性價(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì),進(jìn)行嵌入式安裝,與手套箱進(jìn)行配合。
產(chǎn)品性能參數(shù):
支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圓晶)
速度可調(diào)范圍:200-10000rpm
加速度可調(diào)范圍:100-10000rpm/s
轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm
轉(zhuǎn)速精度:<±5rpm
可編程10組10步程序
寬電壓輸入:AC100-230V
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn):
100W 直流無刷電機(jī),PLC 控制
5”全彩觸摸屏
系統(tǒng)中英文可選
帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口,可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能
HDPE 內(nèi)腔,SUS 外殼,耐溶劑PC 透明蓋
真空互鎖及蓋子開關(guān)互鎖安全功能
產(chǎn)品外型尺寸:358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)
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