新型高精密勻膠機
主要性能指標(biāo):
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm
工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時間設(shè)置精度:0.1sec
支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圓晶)
旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
新型高精密勻膠機
產(chǎn)品特性優(yōu)點:
的內(nèi)部緊湊設(shè)計,縮小了設(shè)備的尺寸。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進行定制。
采用工業(yè)級別伺服電機,電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,*生銹,便于清洗。
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。
產(chǎn)品外型尺寸:
613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)
全自動酸值測定儀 石油產(chǎn)品酸值自動測定儀型號:TRS-10
多通道便攜式腐蝕測試儀 型號:CST800E CST800E多通道便攜式腐蝕測試儀集成了交流阻抗(EIS)測量原理的優(yōu)點,具有易于攜帶、操作簡便、測量迅速、顯示結(jié)果直觀等特點。儀器全部采用交流阻抗測量模式,可以準(zhǔn)確地測量工作電與參比電間的介質(zhì)電阻Rs,并自動從化電阻Rp中減掉介質(zhì)電阻Rs,從而獲得準(zhǔn)確的腐蝕速率,這一點尤其適用于介質(zhì)電阻較大的腐蝕環(huán)境,如含油污水、土壤或混凝土體系。儀器采用定時自動測量,內(nèi)置實時日歷時鐘,能自動定時喚醒測量,可用于現(xiàn)場的連續(xù)監(jiān)測。供電采用交直流自動切換,內(nèi)置充電電池(可選),用于現(xiàn)場無電源情況下使用,滿電狀態(tài)下可以連續(xù)測量60小時。
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