使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ80mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。）

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7"工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。

加熱長(zhǎng)度

200+200+200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相，220V，50Hz

標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)

200sccm，500sccm、1000sccm

（可根據(jù)用戶(hù)要求定制）

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線(xiàn)性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

zui大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

工作環(huán)境

5℃～40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連