SYPT-1平面平晶(干涉平晶)

一．產(chǎn)品介紹：

 SYPT-1平面平晶是用于以干涉法測(cè)量塊規(guī)，以及檢驗(yàn)塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面測(cè)量?jī)x器及測(cè)量工具量面的研合性和平面度的工具。  適用于光學(xué)加工廠、廠礦企業(yè)計(jì)量室、精密加工車間、閥門密封面現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)使用，也適用于高等院校、科學(xué)研究等單位做平面度等檢測(cè)。

二．符合標(biāo)準(zhǔn)：

JJG28-2000平晶檢定規(guī)程

三．工作原理：

平晶是利用光波干涉現(xiàn)象測(cè)量平行度誤差的，故其測(cè)量方法稱為平晶干涉法（圖2）,也稱技術(shù)光波干涉法。測(cè)量時(shí),把平晶放在被測(cè)表面上,且與被測(cè)表面形成一個(gè)很小的楔角 θ，以單色光源照射時(shí)會(huì)產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測(cè)表面，且平晶與被測(cè)表面間的間隙很小,則由平晶測(cè)量面P反射的光線與被測(cè)表面反射的光線在測(cè)量面 P發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下，則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直，相互平行,且分布均勻,則表示被測(cè)表面的平面度很好；如干涉條紋彎曲，則表示平面度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)

λ為光波波長(zhǎng)，白光的平均波長(zhǎng)為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量，ω為干涉帶間距。

四．技術(shù)指標(biāo)：

1. 平晶精度：1級(jí)

2. 平行度誤差：Ⅰ級(jí) 0.6μm

3. 平面度誤差：
直徑 30mm~60mm 0.03μm
直徑 80mm~150mm 0.05μm
直徑 200mm~300mm 0.06μm
直徑 300mm~600mm 0.08μm

4. 平面平晶的材料：光學(xué)K9玻璃，* ，檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) （GB 903-1987 無色光學(xué)玻璃）

5. 平晶必須放置在(20士5)℃和濕度≤80 % RH的檢定室內(nèi)進(jìn)行等溫，等溫時(shí)間不少于8h。

五．產(chǎn)品規(guī)格：

可以定做正方形、長(zhǎng)方形、環(huán)形平面平晶，可以定做二等平面平晶，標(biāo)準(zhǔn)樣板?？梢詭С鰣?bào)告，可以定做材質(zhì)為石英平面平晶。