Parker派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上*微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質(zhì)量流量控制器）的性能，這對半導(dǎo)體生產(chǎn)的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應(yīng)。產(chǎn)品采用自動定心束縛膜片設(shè)計，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進一步提高工藝清潔度和吹掃性能.
Parker派克SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 Vericlean? 316L不銹鋼。Vericlean? 是派克公司的UHP超高純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22?。這些材料與SMSQ2Micro系列設(shè)計特點相結(jié)合，使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性.
Parker派克調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列市場:
?半導(dǎo)體
?分析試驗室
?制藥
?生物制藥
?航空航天
?工業(yè)
特點和優(yōu)勢:
?有C 和 W密封貼面安裝1-1/8和1-1/2
Parker派克調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列Veriflo閥體尺寸
?極低粒子數(shù)
?束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性
?SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv
?出口壓力范圍： -10 psig 到 60 psig
?內(nèi)漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He
?外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
?5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理
?工作壓力范圍：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)
應(yīng)用:
?腐蝕性和特殊氣體
?半導(dǎo)體工具
?工具掛鉤
?氣體柜
?閥組箱 (VMB)
Parker派克漢尼汾調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列Veriflo閥門優(yōu)點:
- 符合SEMI模塊化接口規(guī)范
- 易于部件改裝
- 標準的哈氏合金C-22? 提升閥芯和膜片
- 占地面積小，可與Veriflo Quantum閥門的間距相同
- 標準的全內(nèi)部電拋光
- 沒有彈簧或螺紋暴露在濕潤區(qū)域中
- 極低的顆粒數(shù)
- 有0.06和0.15 Cv兩種規(guī)格可供選擇
Parker派克調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列Veriflo閥門相關(guān)型號：
訂貨號 流體容量（Cv） 壓力范圍（psig） 型號
45800745-1 0.06 30 psig SMSQ2MICRO30102
54015923-1 0.06 30 psig SMSQ2MICRO30602
45800745-2 0.06 60 psig SMSQ2MICRO60102
54015923-2 0.06 60 psig SMSQ2MICRO60602
45800978-1 0.15 30 psig SMSQ2MICRO130E30102
45800978-2 0.15 60 psig SMSQ2MICRO130E60102
54016395-2 0.15 60 psig SMSQ2MICRO130E60602
另外還有一個SMSQ2MICRO130E30602獨立型號。45800978-2
Parker派克調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列Veriflo
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