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SC100系列勻膠機(jī)操作手冊(cè)

 使用步驟

1.選擇適合的片托，略小于樣片尺寸，將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘卡口，安裝牢固。

2.開啟電源

3.調(diào)節(jié)設(shè)置合適的勻膠時(shí)間轉(zhuǎn)速步驟。支持100組每組100步的程序設(shè)置和存儲(chǔ)調(diào)用。

4.放片，并保證樣片處于載物盤正中心。

5.開啟真空吸附，按下“真空”鍵開始吸附樣片。注意：真空狀態(tài)顯示，支持真空?qǐng)?bào)警，真空錯(cuò)誤電機(jī)停止工作。（PE型配備實(shí)時(shí)真空數(shù)值顯示）

6.程序設(shè)置完畢按“執(zhí)行”鍵，電機(jī)旋轉(zhuǎn)，速度加速度連續(xù)可調(diào)轉(zhuǎn)速實(shí)時(shí)顯示。轉(zhuǎn)速時(shí)間曲線分析。

7.滴膠，動(dòng)作要迅速，要在低轉(zhuǎn)速時(shí)間內(nèi)滴膠完畢。建議設(shè)置多步勻膠程序：低速滴膠高速勻膠。

8.電機(jī)停止后，停止真空吸附打開上蓋取出樣片。SC100系列有上蓋保護(hù)功能，若勻膠過(guò)程中開啟上蓋，電機(jī)斷電儀器自動(dòng)停止工作。

9.勻膠工藝時(shí)間支持設(shè)置0-3000S，時(shí)間設(shè)置到0.1S。

10. 若繼續(xù)勻膠重復(fù)以上步驟。

 注意事項(xiàng)

1.不同尺寸的樣片選用不同尺寸的載物盤。支持定制合適尺寸的載物盤。

2.所用樣片的尺寸要大于片托有效尺寸2-3mm左右；

3. 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立即進(jìn)行清理。SC100系列勻膠機(jī)*的不近膠不堵膠設(shè)計(jì)有效的解決了近膠堵膠問(wèn)題，操作非常簡(jiǎn)單解決非常方便。

主要技術(shù)參數(shù)

SC100-SE高精密勻膠機(jī)主要性能指標(biāo)：

主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可到0.1秒

轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm（更高速可選）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）

旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）

SC100-SE高精密勻膠機(jī)產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)：

的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。

排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。

透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

SC100-SE高精密勻膠機(jī)產(chǎn)品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)