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產(chǎn)品特點(diǎn)

◆  CIF勻膠旋涂儀采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。

◆  7 寸全彩中英文互動操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配 10 個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置） ，可 選配 20 個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置 10 個(gè)勻膠梯度階段，最多 100 個(gè)階段。

◆  內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

◆  多重安全保護(hù)電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

◆  樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。

◆  一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

◆  符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計(jì)，取放樣品更方便。

◆  不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用 PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器 在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。

◆  上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。

◆  可選氮?dú)獯祾?、氮?dú)獗Ｗo(hù)，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

◆  CIF勻膠旋涂儀適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

技術(shù)參數(shù)