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產品特點：

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數據可存儲追溯。

◆  PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙，真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。

◆  采用質量流量計，實現(xiàn)對氣體輸入精準控制，改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆  HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設計，符合人體功能學，操作方便，界面友好。

◆  頂置真空艙，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式，開關蓋方便。

◆  采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計，符合人體功能學，操作更方便。

◆  有效清洗面積大，可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆  安全保護，艙門打開，自動關閉電源。

技術參數：