目錄:青島森泉光電有限公司>>光學平臺>>主動隔振平臺>> Stage-BaseTMC混合壓電陶瓷電機主動隔振系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,綜合 |
TMC Stage-Base混合壓電電機主動隔振系統(tǒng)
TMC繼續(xù)在*技術的基礎上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主要消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非常快速地穩(wěn)定，以最大限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩(wěn)定時間，進一步提高吞吐量，從而為移動平臺應用提供zui先jin的主動振動和運動消除系統(tǒng)。
優(yōu)點：
Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術。只有TMC可以提供這種特別的高級低頻消振串行型技術，通過使用音圈電機（VCM），實現(xiàn)了主動移動平臺運動消除。
Stage-Base 450下一代主動控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術，使用壓電致動器和串行式架構中的剛性懸架實現(xiàn)了zhuo越的消振。這實現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內最佳地面隔振，響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。
規(guī)格：
采用特別的STACIS®技術
采用高力、加長行程的壓電致動器
有效載荷的位置可重復性在微米以內
框架安裝設計
6個主動自由度
可選的VCM前饋和/或反饋
始于0.6 Hz的主動隔振
響應平臺運動的快速穩(wěn)定時間
無軟空氣懸架
通過USB 2.0實現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面（GUI）的高速數(shù)字控制器
簡單、堅固且經(jīng)濟高效
TMC Stage-Base混合壓電電機主動隔振系統(tǒng)
7
化工儀器網(wǎng)