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高分辨率加速度計納米E+E位移傳感器
在現(xiàn)代社會中，加速度計已經(jīng)擁有成熟的市場，被廣泛用于汽車、飛行器以及軍事制導等各方面。但是傳統(tǒng)方法設計的加速度計已經(jīng)無法滿足高分辨率、大動態(tài)范圍、高集成度且低成本的發(fā)展需求，以克服現(xiàn)有加速度計在上述各方面的不足為目的，設計了一種可用于高分辨率加速度計的PGC納米E+E位移傳感器。

高分辨率加速度計納米E+E位移傳感器
從研究加速度計和E+E位移傳感器理論模型以及相關程序設計出發(fā)，主要完成了以下幾部分的內(nèi)容：首先，深入了解和研究了加速度計的相關基礎知識。對現(xiàn)有的加速度計設計技術與原理以及以后的發(fā)展趨勢進行了歸納總結。并從加速度計的設計原理出發(fā)，對各種加速度計的優(yōu)缺點和在技術上存在的主要問題進行了分析。這為用于高分辨率加速度計的PGC納米E+E位移傳感器設計工作指明了方向。研究了加速度計的各種位移系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，從理論模型對其進行了分析。針對納米E+E位移傳感器的不足分別從本體、解調和光源進行了改進。研制出具有誤差補償功能的復合閃耀光柵代替原有變柵距光柵,使光E+E位移傳感器在航空溫度環(huán)境(-55~75℃)下zui大誤差從1.984mm降到0.031mm;利用色敏元件代替光譜儀對光柵E+E位移傳感器進行信號解調,色敏元件不但精度高、體積小,響應速度快,還加入了溫度傳感器進行溫度補償,具有較好的環(huán)境適應性;采用自主研制的寬帶LED光源體積小、效率高,是光E+E位移傳感器較為理想的寬帶光源。針對多個關鍵因素進行改進,zui終達到了納米E+E位移傳感器系統(tǒng)化、小型化的研制目標。研究了可變電容式加速度計、強度調制型光學加速度計和相位調制型光學加速度計的工作原理。并對邁克爾遜、馬赫·曾德以及發(fā)布里-泊干涉測距原理進行了重點研究。為設計工作打下了堅實的基礎。再次，深入分析了用于光纖干涉型傳感器的各種解調技術。并重點研究了相位生成載波解調技術。從而確定了本論文的設計方案，并對此方案進行了理論驗證。為后期工作的開展以及設計的成功提供了保障。

高分辨率加速度計納米E+E位移傳感器
zui后，學習了C++程序編譯語言，在前述理論分析的基礎上，自行設計編寫了用于信號處理的應用程序。搭建了實驗平臺，從實驗上驗證了本設計的可行性，并通過實驗數(shù)據(jù)分析和理論驗證，確定本次設計的高分辨率加速度計能夠在毫米級的量程內(nèi)精確測出納米級的位移量，其動態(tài)范圍可達10~6。