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應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子,汽車	介質(zhì)	He, Ar, N2
壓力控制范圍	10 Torr, 20 Torr，5Ttorr	流量	100sccm
輸出信號	0-5V	電源	±15VDC
接口	1/4VCR

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F

控制壓力10torr、20torr、50torr

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F又稱壓力自動調(diào)節(jié)閥，

用于半導體晶圓生產(chǎn)中晶圓背面的微小壓力控制，實現(xiàn)冷卻系統(tǒng)的冷卻功能，減少晶圓的熱損傷。

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F是壓力控制器GR500F系列中的熱門型號，是壓力自動調(diào)節(jié)閥GR-312F的升級產(chǎn)品，穩(wěn)定性更好，滿足晶圓生產(chǎn)中更嚴格的工藝要求。

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F最小壓力控制器可以到1.3kpa.

特征

GR-511F是GR-312F的升級產(chǎn)品，Wafer背壓控制；
壓力控制更穩(wěn)定、精度0.5%；
可選擇流量信號反饋；
RoHS 認證

技術(shù)參數(shù)

型號	GR-511F
閥門類型	C: 常閉
泄漏率	≤ 7 × 10-11 Pa·m3 /s (He)
工作壓力上限	300 kPa (A)
耐壓	350 kPa (A)
工作溫度	5-50 °C (Accuracy guaranteed temp : 15-40 °C)
電源	+15 VDC±5 %, 250 mA -15 VDC±5 %, 250 mA
功率	7.5 VA
輸出信號	Analog
氣體 *1	He, Ar, N2
接口	1/4 inch VCR
壓力量程	1.333 kPa (A) (10 Torr), 2.666 kPa (A) (20 Torr), 6.666 kPa (A) (50 Torr)
壓力控制范圍	1-100 %F.S.
精度 *2	±0.5 %R.S.
零點/溫度系數(shù)	±0.04 %F.S./°C
量程/溫度系數(shù)	±0.04 %R.S./°C
相應(yīng)時間*3	≤ 1 sec
輸入模擬信號	0.1-10 VDC (1-100 %F.S.) Input impedance ≥ 1 MΩ Option:0.05-5 VDC (1-100 %F.S.) Input impedance≥ 1 MΩ
輸出模擬信號	0-10 VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ Option:0-5 VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ
流量滿量程 *1	20, 50, 100 SCCM
流量精度 4 5	±1 %R.S. (Flow rate > 25 %F.S.) ±0.25 %F.S. (Flow rate ≤ 25 %F.S.)
流量輸出信號	0-5 VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ
材質(zhì)	SUS316L
安裝方向 *6	Free
重量*7	1.5 kg

實物圖片

GR-511F、IGS接口14C3

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F

應(yīng)用案例

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F

熱門型號：GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD

UR-Z712M、UR-Z712M-B、UR-Z722M、UR-Z722M-B、UR-Z732M、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B。

周邊產(chǎn)品

horiba質(zhì)量流量控制器，熱門型號

SEC-Z717SMGC、SEC-Z727SMGC、SEC-Z717MGC、SEC-Z717MGC、

HORIBA 是氣體和液體質(zhì)量流量控制器制造商之一，擁有一系列模擬、數(shù)字和高溫質(zhì)量流量控制器以及使用點液體源汽化控制和輸送系統(tǒng)。

HORIBA 可以為您的涂層工藝生產(chǎn)線提供穩(wěn)定的控制，如化學氣相沉積 (CVD)，原子層沉積 (ALD)，金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD)， PVD (物理氣相沉積)，等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD) 和金剛石沉積或金剛石涂層 (DLC)。我們的產(chǎn)品提供全面的流體控制和過程監(jiān)控，以提高產(chǎn)量，增加吞吐量，并為您的涂層過程提高效。

本公司同時提供日本HORIBASTEC的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器、數(shù)字壓力自動調(diào)節(jié)閥、壓力控制器、薄膜硅真空計、汽化器、殘余氣體分析儀。

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