型號(hào)

WI-004^*1*2*3

參考距離

18 mm

測(cè)量范圍

Z

1.4 mm(標(biāo)準(zhǔn)模式)，0.7 mm(高速模式)

XY

4 × 4 mm

zui小檢測(cè)區(qū)域

15 × 15 µm

重復(fù)精度(段差)

0.1 µm^*4

直線性(段差)

±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F(xiàn).S.=1.4 mm，+20 至+30℃)^*5

測(cè)量用光源

類型

紅外線SLD

中心波長(zhǎng)

830 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

3R 類

輸出

3.6 mW

引導(dǎo)用光源

類型

紅色半導(dǎo)體激光

波長(zhǎng)

660 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

1 類

輸出

0.15 mW

采樣周期

內(nèi)部觸發(fā)

133 ms(高速模式)，266 ms(標(biāo)準(zhǔn)模式)

外部觸發(fā)

zui快 266 ms(高速模式)，zui快 532 ms(標(biāo)準(zhǔn)模式)^*6

環(huán)境抗耐性

環(huán)境光照

白熾燈/熒光燈：5,000 lux 以下

環(huán)境溫度

0 至 +35 °C

相對(duì)濕度

20 至 85 % RH (無(wú)凝結(jié))

重量

約 3000 g

KEYENCE WI-004 干涉式同軸 3D 位移測(cè)量?jī)x測(cè)量頭、KEYENCE WI-004 干涉式同軸 3D 位移測(cè)量?jī)x測(cè)量頭、