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質(zhì)量流量控制器的結(jié)構(gòu)原理

2022-7-22  閱讀(3689)

什么是質(zhì)量流量控制器?

由于質(zhì)量流量控制器通過(guò)測(cè)量流體的質(zhì)量流量來(lái)控制流量,因此無(wú)需因環(huán)境溫度、工作壓力等的變化而進(jìn)行修正,實(shí)現(xiàn)了高精度、穩(wěn)定的流體測(cè)量和控制??赡艿模@是一種可能的裝置。在流量計(jì)、針閥等基于體積流量的流量控制中,當(dāng)需要一定程度的準(zhǔn)確流量時(shí),需要根據(jù)溫度、壓力等的變化進(jìn)行修正。質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)用于需要高精度流量測(cè)量和控制的領(lǐng)域,例如半導(dǎo)體和平板顯示器,以及分析、燃料電池、液晶、有機(jī)EL、生物技術(shù)、文化、食品、環(huán)境廣泛應(yīng)用于控制、工廠設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等所有過(guò)程和設(shè)備中。Fcon的質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)采用追求基本性能技術(shù),使其可用于廣泛的領(lǐng)域,同時(shí)降低成本,提高產(chǎn)品性能和可靠性,設(shè)計(jì)專門(mén)從事基本功能的低價(jià)產(chǎn)品.我的目標(biāo)是制造。

質(zhì)量流量控制器的原理與結(jié)構(gòu)

如下圖所示,質(zhì)量流量控制器的基本結(jié)構(gòu)由流量傳感器、旁路、閥門(mén)和控制電路組成。

常用的熱敏傳感器是電流通過(guò)纏繞在不銹鋼毛細(xì)管上下游兩側(cè)的電阻產(chǎn)生熱量。當(dāng)沒(méi)有氣體流動(dòng)時(shí),上下游電阻器的熱量保持平衡,流量輸出信號(hào)顯示為零。

從入口進(jìn)入的氣體被分流到傳感器并旁路。當(dāng)氣體流入傳感器時(shí),上游側(cè)和下游側(cè)的電阻之間出現(xiàn)溫差,失去熱平衡,傳感器的溫度分布發(fā)生變化。這種變化被橋式電路捕獲并作為流量輸出信號(hào)取出。比較從外部輸入的流量設(shè)定信號(hào)和傳感器的流量輸出信號(hào),流量控制閥進(jìn)行PID運(yùn)算(比例、積分、微分)使各自的信號(hào)電平匹配,閥門(mén)自動(dòng)動(dòng)作. 由于開(kāi)度微調(diào),可在始終設(shè)定穩(wěn)定流量的條件下控制流量。

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什么是質(zhì)量流量控制器?


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