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當(dāng)前位置：上海富瞻環(huán)?？萍加邢薰?/a>>>半導(dǎo)體行業(yè)儀器>> MDPspot少子壽命測試儀
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌Freiberg Instruments
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時間：2024-11-02 13:35:35瀏覽次數(shù)：136次
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MDPspot少子壽命測試儀
低成本桌面單點測量硅片或晶磚，用于在不同制備階段表征各種不同的硅樣品，無需內(nèi)置自動化?？蛇x手動操作的z軸厚度高達(dá)156毫米的硅磚樣品，高達(dá)156毫米硅磚，結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。
產(chǎn)品介紹：
MDPspot W
包括一個額外的電阻率測量選項。測量硅電阻率，可用于沒有高度調(diào)節(jié)可能性的晶圓，或晶磚。必須預(yù)先定義這兩個選項中一個。
特點：
◇ 無接觸無破壞的電學(xué)半導(dǎo)體特性
◇ 包括μ-PCD測量選項
◇ 對迄今為止看不見的缺陷的可視化和外延層的研究具有優(yōu)良的靈敏度
◇ 集成多達(dá)四個激光器，用于寬的注入水平范圍
◇ 獲取單次瞬變的原始數(shù)據(jù)以及用于特殊評估目的的地圖
技術(shù)規(guī)格:
MDPspot 應(yīng)用：
鐵濃度測定
鐵的濃度的精確測定是非常重要的，因為鐵是硅中豐富也是有害的缺陷之一。因此，有必要盡可能準(zhǔn)確和快速地測量鐵濃度，具有非常高的分辨率且**是在線的
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摻雜樣品的光電導(dǎo)率測量
B和P的摻雜在微電子工業(yè)中有許多應(yīng)用，但到目前為止，沒有方法可以在不接觸樣品和由于必要的退火步驟而改變其性質(zhì)的情況下檢查這些摻雜的均勻性。迄今為止的困難……
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陷阱濃度測定
陷阱中心是非常重要的，為了了解材料中載流子的行為，也可以對太陽能電池產(chǎn)生影響。因此，需要以高分辨率測量這些陷阱中心的陷阱密度和活化能。
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注入相關(guān)測量
少數(shù)載流子壽命強烈依賴于注入(過剩余載流子濃度)。從壽命曲線的形狀和高度可以推斷出摻雜復(fù)合中心和俘獲中心的信息。
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優(yōu)點：
◇ 臺式裝置，用于載流子壽命的單點測量，多晶硅或單晶硅在不同的制備階段，從原生材料到器件。
◇ 體積小，成本低，使用方便。附帶一個基本的軟件，用于在小型PC或筆記本上進(jìn)行結(jié)果可視化。
◇ 適用于硅片到磚，操作高度調(diào)節(jié)方便。
細(xì)節(jié)：
◇ 允許單晶圓片調(diào)查
◇ 不同的晶圓級有不同的配方
◇ 監(jiān)控物料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性
附加選項：
◇ 光斑大小變化
◇ 電阻率測量(晶片)
◇ 背景/偏置光
◇ 反射測量(MDP)
◇ 軟件擴展
◇ 額外的激光器選配
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