目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>清洗系列>>等離子清洗機(jī)>> PDC-36G 等離子清洗機(jī)
| 參考價(jià) | 面議 |
| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2025-02-17 12:15:34瀏覽次數(shù)：1347評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電氣 |
|---|
| 功能特點(diǎn) |
|---|
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 主要參數(shù) |
● 低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W ● 中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W ● 高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W ● 射頻源輸出頻率：13.56MHz ● 等離子直流電源 ● 輸入電壓：220V,50Hz
|
| 等離子腔室 |
● 直徑75mmx長(zhǎng)200mm的石英墻體，前蓋可以開啟 ● 高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長(zhǎng)
|
| 真空計(jì) | ● 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗倉(cāng)內(nèi)的真空度。
|
| 可選配件 |
● 您可以訂購(gòu)額外的石英腔體，用于備用 ● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點(diǎn)擊下面圖片了解詳情） ● 您可以訂購(gòu)石英晶片載體來(lái)清潔2英寸晶片 ●
|
| 真空泵和閥 |
● 此設(shè)備不包含真空泵 ● 您可以點(diǎn)擊下方圖片了解真空泵信息 ●
|
| 工作氣體 |
● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。 ● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體 ● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體
|
等離子清洗及刻蝕的方法 |
|
| 外形尺寸 |
353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
|
| 凈重 |
8kg（不含泵）
|
| 認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
|
| 質(zhì)保期 |
● 一年保修，終身技術(shù)支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
|
| 工作原理 |
等離子清洗機(jī)工作原理 |
|
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
8
化工儀器網(wǎng)