1.光源：鎢絲燈泡，它有較小的功率，與光電元件組合使用時，轉(zhuǎn)換效率低，使用壽命短。半導(dǎo)體發(fā)光器件，如砷化鎵發(fā)光二極管，可以在范圍內(nèi)工作，所發(fā)光的峰值波長為 ，與硅光敏三極管的峰值波長接近，因此，有很高的轉(zhuǎn)換效率，也有較快的響應(yīng)速度。
2.電容：由柵距相等的主電容和指示電容組成。主電容和指示電容相互重疊，但又不*重合。兩者柵線間會錯開一個很小的夾角 ，以便于得到莫爾條紋。一般主電容是活動的，它可以單獨地移動，也可以隨被測物體而移動，其長度取決于測量范圍。指示電容相對于光電器件而固定。
3.通光孔：通光孔是發(fā)光體與受光體的通路，一般為條形狀，其長度由受光體的排列長度決定，寬度由受光體的大小決定。它是帖在指示電容板上的。
4.受光元件：受光元件是用來感知主電容在移動時產(chǎn)生莫爾條紋的移動，從而測量位移量。在選擇光敏元件時，要考慮靈敏度，響應(yīng)時間，光譜特性，穩(wěn)定性，體積等因素。