有很多種方法可消除精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)中導(dǎo)致平臺(tái)穩(wěn)定性變差并發(fā)生定位偏差的因素。在整機(jī)設(shè)計(jì)環(huán)境下評(píng)估光柵性能時(shí)，控制環(huán)架構(gòu)是一個(gè)重要的考慮因素。本文闡述了雷尼紹RESOLUTE™式光柵系統(tǒng)在此類應(yīng)用中的潛力 — 傳統(tǒng)上只有周期誤差在1 nm范圍內(nèi)的超細(xì)柵距增量式光柵才可勝任此類要求。盡管在某些應(yīng)用中采用超細(xì)柵距系統(tǒng)是合乎情理的，但盡可能地尋找替代解決方案可能是更好的選擇。與超細(xì)柵距光柵相比，RESOLUTE光柵具有如下優(yōu)點(diǎn)：扭擺和間隙公差更寬松，無(wú)需返回基準(zhǔn)位置，更容易安裝，系統(tǒng)尺寸更小，工作速度大幅提高，柵尺選擇更加靈活，比如長(zhǎng)度更長(zhǎng)、抗污性能更佳且成本更低 — 總擁有成本 (TCO) 因此更低。

標(biāo)準(zhǔn)的“比例-積分-微分 (PID)”控制器發(fā)明于大約90年前，但發(fā)展到現(xiàn)在，這種控制器通常已無(wú)法滿足當(dāng)今大部分要求苛刻的運(yùn)動(dòng)控制應(yīng)用?？刂破魑⑻幚砉δ艿倪M(jìn)步帶來(lái)了現(xiàn)代控制方法。這些方法一般使用函數(shù)觀測(cè)器來(lái)精確模擬系統(tǒng)。觀測(cè)器使用輸入電流和位置信息以及工廠（運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或其他設(shè)備）的標(biāo)稱參數(shù)，能夠估算實(shí)際系統(tǒng)的速度、加速度和干擾信息。