命令后隨即出現(xiàn)的阻尼振蕩。

精密運動平臺性能由光柵精度、控制系統(tǒng)設(shè)計和平臺自身硬件等因素綜合決定。

通過與ACS合作開展研究，雷尼紹得出的結(jié)論是：相較于標(biāo)準(zhǔn)的“比例-積分-微分 (PID)”控制算法，諸如ServoBoost™這類高級控制器軟件可實現(xiàn)更好、更*的伺服性能，同時還可明顯降低穩(wěn)定位置誤差。通過與雷尼紹合作，ACS在裝備有1 nm分辨率RESOLUTE光柵和備用超細柵距產(chǎn)品的交叉滾子軸承直線平臺上完成了測試，其結(jié)果證明：當(dāng)RESOLUTE光柵反饋與ServoBoost™控制軟件結(jié)合時，有效抖動降至2 nm RMS以下，這相當(dāng)于精細柵距光柵的水平。

ACS的ServoBoost™算法與雷尼紹的RESOLUTE光柵相結(jié)合，將有利于設(shè)備制造商在諸多要求嚴苛的應(yīng)用中使用式光柵，從而發(fā)揮式光柵的優(yōu)勢，而傳統(tǒng)上需要更為昂貴的激光增量式光柵才能滿足這些應(yīng)用要求。