專業(yè)檢漏儀維修保養(yǎng)。半導(dǎo)體光學(xué)鍍膜設(shè)備氦檢漏儀維修。提供維修保養(yǎng)品牌：Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、INFICON英?？怠himadzu島津、Agilen安捷倫 、ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口品牌的氦質(zhì)譜檢漏儀、氦質(zhì)譜儀維修、保養(yǎng)服務(wù)。 維修流程完善，長期備有原廠維修配件,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

氦質(zhì)譜檢漏儀故障處理：分子泵不工作

(1)儀器界面上TMP(分子泵的運(yùn)轉(zhuǎn)頻率)顯示“0”即分子泵沒有工作。有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無法啟動。

檢查導(dǎo)致壓力過高的項(xiàng)目有：真空規(guī)管是否有問題，分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動。(2)分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。

(3)分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置，此時應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為分子泵電源故障，請與廠家聯(lián)系。

質(zhì)譜室無法正常啟動

燈絲無法正常啟動，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。

半導(dǎo)體光學(xué)鍍膜設(shè)備氦檢漏儀維修品牌

專業(yè)維修AGILENT 936氦質(zhì)譜檢漏儀，專業(yè)從事AGILENT 936檢漏儀維修保養(yǎng)

專業(yè)維修AGILENT 947氦質(zhì)譜檢漏儀，專業(yè)從事AGILENT 947檢漏儀維修保養(yǎng)

 專業(yè)維修ULVAC 714W2 氦質(zhì)譜檢漏儀，專業(yè)從事ULVAC 714W2 氦質(zhì)譜檢漏儀維修

專業(yè)維修ULVAC 711D1氦質(zhì)譜檢漏儀，專業(yè)從事ULVAC 711D1氦質(zhì)譜檢漏儀維修