適用于氣體的Burkert質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器 (MFC)/質(zhì)量流量計 (MFM)
采用 MEMS 技術(shù)直接測量流量
測量和重復(fù)精度高
反應(yīng)時間非常之短
現(xiàn)場總線通信基于 CANopen
Burkert氣體流量控制器 (MFC)/流量測量儀 (MFM)
標(biāo)稱流量范圍從 20 lN/min 至最高 2500 lN/min
測量精度和重復(fù)性高
通過標(biāo)準(zhǔn)信號或工業(yè)以太網(wǎng)進行通信
電磁和電動閥門執(zhí)行機構(gòu)可用
通過配置存儲器便于設(shè)備更換