資料下載
heidenhain LC493F/100nm/ML1020m/1140mm光柵尺原理
閱讀:53 發(fā)布時(shí)間:2023-11-17提 供 商 | 杭州卓德自動(dòng)化科技有限公司 | 資料大小 | 107.1KB |
---|---|---|---|
資料圖片 | 查看 | 下載次數(shù) | 0次 |
資料類型 | JPG 圖片 | 瀏覽次數(shù) | 53次 |
免費(fèi)下載 | 點(diǎn)擊下載 |
LC493F/100nm/ML1020m/1140mm
德國(guó)進(jìn)口HEIDENHAIN海德漢原裝現(xiàn)貨優(yōu)勢(shì)供應(yīng)商,常規(guī)型號(hào)旋轉(zhuǎn)編碼器,角度編碼器,長(zhǎng)度計(jì),讀數(shù)頭倉(cāng)庫(kù)現(xiàn)貨庫(kù)存!??!
德國(guó)HEIDENHAIN海德漢公司用于數(shù)控機(jī)床的直線光柵尺幾乎可以適應(yīng)任何應(yīng)用。它是所有進(jìn)給軸為伺服控制環(huán)控制的機(jī)器和設(shè)備的好的選擇,例如銑床、加工中心、鏜床、車床和磨床。直線光柵尺的動(dòng)態(tài)性能優(yōu)點(diǎn),允許的運(yùn)動(dòng)速度高,沿測(cè)量方向的加速性能使其不僅能滿足常規(guī)軸高動(dòng)態(tài)性能要求,也能滿足直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)的高動(dòng)態(tài)性能要求。
直線光柵尺優(yōu)點(diǎn)
直線光柵尺測(cè)量直線軸位置過程期間沒有任何其它機(jī)械傳動(dòng)件。用直線光柵尺的位置控制環(huán)中包括全部進(jìn)給機(jī)構(gòu)。機(jī)械運(yùn)動(dòng)誤差被滑板中的直線光柵尺檢測(cè)和被控制系統(tǒng)電路修正。因此它能消除潛在多項(xiàng)誤差源。滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的誤差、反向誤差、滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差 因此,直線光柵尺是***和高速加工機(jī)床的基礎(chǔ)技術(shù)手段。
NC數(shù)控機(jī)床用直線光柵尺
用于數(shù)控機(jī)床的海德漢直線光柵尺幾乎適用于任何應(yīng)用。它是所有進(jìn)給軸為伺服控制環(huán)模式的機(jī)器和設(shè)備的選擇,例如銑床、加工中心、鏜床、車床和磨床。 直線光柵尺的動(dòng)態(tài)性能優(yōu)點(diǎn),允許的運(yùn)動(dòng)速度高,沿測(cè)量方向的加速性能使其不僅能滿足常規(guī)軸高動(dòng)態(tài)性能要求,也能滿足直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)的高動(dòng)態(tài)性能要求。
緊湊外殼直線光柵尺
緊湊外殼的直線光柵尺設(shè)計(jì)用于安裝空間有限的地方。 如果測(cè)量長(zhǎng)度較大和加速負(fù)荷較大,可能需要使用安裝板或固定件。
精度等級(jí) | 測(cè)量長(zhǎng)度 ML | 增量信號(hào) 信號(hào)周期 | 絕-對(duì)位置值 | 型號(hào) | |
高安全性應(yīng)用的式直線光柵尺 | ±5 μm ±3 μm | 70 mm至2040 mm | - | EnDat 2.2/22 DQ 01 | LC 415 LC 495 S |
式位置測(cè)量 ? 玻璃光柵尺 | ±5 μm ±3 μm | 70 mm至2040 mm | - 1 Vpp; 20 μm | EnDat 2.2/22 EnDat 2.2/02 DQ 01 Fanuc 05 Mit 03-04 | LC 415 LC 485 LC 495 S LC 495 F LC 495 M |
高重復(fù)精度的增量式直線測(cè)量 ? 鋼帶光柵尺 ? 小信號(hào)周期 | ±5 μm ±3 μm | 50 mm至1220 mm | 1 Vpp; 4 μm | - | LF 485 |
增量式直線測(cè)量 ? 玻璃光柵尺 | ±5 μm ±3 μm | 70 mm至2040 mm | 1 Vpp; 20 μm TTL; 至 1 μm | - - | LS 487 LS 477 |
標(biāo)準(zhǔn)外殼直線光柵尺
標(biāo)準(zhǔn)外殼直線光柵尺突出特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、抗振能力強(qiáng)和測(cè)量長(zhǎng)度大。讀數(shù)頭通過一個(gè)斜板連接安裝架,因此允許垂直安裝和水平安裝,并具有相同的防護(hù)等級(jí)。
精度等級(jí) | 測(cè)量長(zhǎng)度 ML | 增量信號(hào) 信號(hào)周期 | 絕-對(duì)位置值 | 型號(hào) | |
高安全性應(yīng)用的式直線光柵尺 | ±5 μm ±3 μm | 140 mm至4240 mm | - | EnDat 2.2/22 DQ 01 | LC 115 LC 195 S |
式位置測(cè)量 ? 玻璃光柵尺 | ±5 μm ±3 μm | 140 mm至4240 mm | - 1 Vpp; 20 μm | EnDat 2.2/22 EnDat 2.2/02 DQ 01 Fanuc 05 Mit 03-04 | LC 115 LC 185 LC 195 S LC 195 F LC 195 M |
大測(cè)量長(zhǎng)度的式位置測(cè)量 ? 鋼光柵尺帶 | ±5 μm | 440 mm至28040 mm | - 1 Vpp; 40 μm | EnDat 2.2/22 EnDat 2.2/02 | LC 201 -single-section LC 201parts kits LC 201 scanning unit |
高重復(fù)精度的增量式直線測(cè)量 ? 鋼光柵尺帶 ? 小信號(hào)周期 | ±3 μm ±2 μm | 140 mm至1240 mm | 1 Vpp; 4 μm | - | LF 185 |
增量式直線測(cè)量 ? 玻璃光柵尺 | ±5 μm ±3 μm | 140 mm至3040 mm | 1 Vpp; 20 μm TTL; 至 1 μm | - - | LS 187 LS 177 |
大測(cè)量長(zhǎng)度的增量式直線測(cè)量 ? 鋼光柵尺帶 | ±5 μm | 440 mm至30040 mm 如果需要測(cè)量長(zhǎng)度至72040 mm,可按要求提供 | 1 Vpp; 40 μm | - | LB 382 - single-section LB 382 parts kit LB 382 scanning unit |
力變送器選型介紹 1、變送器要測(cè)量什么樣的壓力:先確定系統(tǒng)中要確認(rèn)測(cè)量壓力的最大值,一般而言,需要選擇一個(gè)具有比最大值還要大1.5倍左右的壓力量程的變送器。這主要是在許多系統(tǒng)中,尤其是水壓測(cè)量和加工處理中,有峰值和持續(xù)不規(guī)則的上下波動(dòng),這種瞬間的峰值能破壞壓力傳感器,持續(xù)的高壓力值或稍微超出變送器的標(biāo)定最大值會(huì)縮短傳感器的壽命,然而,由于這樣做會(huì)精度下降。于是,可以用一個(gè)緩沖器來降低壓力毛刺,但這樣會(huì)降低傳感器的響應(yīng)速度。所以在選擇變送器時(shí),要充分考慮壓力范圍,精度與其穩(wěn)定性。 2、什么樣的壓力介質(zhì):我們要考慮的是壓力變送器所測(cè)量的介質(zhì),黏性液體、泥漿會(huì)堵上壓力接口,溶劑或有腐蝕性的物質(zhì)會(huì)不會(huì)破壞變送呂中與這些介質(zhì)直接接觸的材料。以上這些因素將決定是否選擇直接的隔離膜及直接與介質(zhì)接觸的材料。一般文檔來源為:從網(wǎng)絡(luò)收集整理.word版本可編輯.歡迎下載支持. 5 的壓力變送器的接觸介質(zhì)部分的材質(zhì)采用的是316不銹鋼,如果你的介質(zhì)對(duì)316不銹鋼沒有腐蝕性,那么基本上所有的壓力變送器都適合你對(duì)介質(zhì)壓力的測(cè)量.如果你的介質(zhì)對(duì)316不銹鋼有腐蝕性,那么我們就要采用化學(xué)密封,這樣不但起到可以測(cè)量介質(zhì)的壓力,也可以有效的阻止介質(zhì)與壓力變送器的接液部分的接觸,從而起到保護(hù)壓力變送器,延長(zhǎng)了壓力變送器的壽命.
精度等級(jí) | 測(cè)量長(zhǎng)度 | 增量信號(hào) 信號(hào)周期 | 型號(hào) | |
緊湊型 | ±10 μm | 70 mm至1040 mm | 1 Vpp; 20 μm | LS 388C |
±10 μm | 70 mm至1040 mm | TTL, 20 μm | LS 328C | |
標(biāo)準(zhǔn)型 | ±10 μm | 140 mm至3040 mm | 1 Vpp; 20 μm | LS 688C |
±10 μm | 140 mm至3040 mm | TTL, 20 μm | LS 628C |
.
.
3、變送器需要多大的精度:決定精度的有,非線性,遲滯性,機(jī)電商務(wù)網(wǎng) 非重復(fù)性,溫度、零點(diǎn)偏置刻度,溫度的影響。但主要由非線性,遲滯性,非重復(fù)性,精度越高,價(jià)格也就越高。每一種電子式的測(cè)量計(jì)都會(huì)有精度誤差的,但是由于各個(gè)國(guó)家所標(biāo)的精度等級(jí)是不一樣的,比如,中國(guó)和美國(guó)等國(guó)家標(biāo)的精度是傳感器在線性度好的部分,也就是我們通常所說的測(cè)量范圍的10%到90%之間的精度;而歐洲標(biāo)的精度則是線性度最不好的部分,也就是我們通常所說的測(cè)量反的0到10%以及90%到100%之間的精度.如歐洲標(biāo)的精度為1%,則在中國(guó)標(biāo)的精度就為0.5%. 4、變送器的溫度范圍:通常一個(gè)變送器會(huì)標(biāo)定兩個(gè)溫度范圍,即正常操作的溫度范圍和溫度可補(bǔ)償?shù)姆秶?正常操作溫度范圍是指變送器在工作狀態(tài)下不被破壞的時(shí)候的溫度范圍,在超出溫度補(bǔ)范圍時(shí),可能會(huì)達(dá)不到其應(yīng)用的性能指標(biāo)。 溫度補(bǔ)償范圍是一個(gè)比操作溫度范圍小的典型范圍。在這個(gè)范圍內(nèi)工作,變送器肯定會(huì)達(dá)到其應(yīng)有的性能指標(biāo)。溫度變從兩方面影響著其輸出,一是零點(diǎn)漂移;二是影響滿量程輸出。如:滿量程的+/-X%/℃,讀數(shù)的+/-X%/℃,在超出溫度范圍時(shí)滿量程的+/-X%,在溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)時(shí)讀數(shù)的+/-X%,如果沒有這些參數(shù),會(huì)導(dǎo)至在使用中的不確定性。變送器輸出的變化到度是由壓力變化引起的,還是由溫度變化引起的。溫度影響是了解如何使用變送器時(shí)最復(fù)雜的一部分。
精度等級(jí) | 測(cè)量長(zhǎng)度 | 增量信號(hào) 信號(hào)周期 | 型號(hào) | |
DIADUR刻線的玻璃光柵尺 | ±10 μm | 70 mm至470 mm | TTL; 20 μm | LS 1679 |
標(biāo)準(zhǔn)光柵尺海德漢光柵尺型號(hào)展示:
德國(guó)海德漢光柵尺LS487 ML920mmID 344837-32
德國(guó)海德漢光柵尺LC195S DQ01 ML740mmID 760914-07
德國(guó)海德漢光柵尺LS487 ML820mmID 344835-21
德國(guó)海德漢光柵尺LC485 EnDat02 ML920mmID 689680-46
德國(guó)海德漢光柵尺LS486-ML320mmID.329990-75
德國(guó)海德漢光柵尺LC493F/ML770mmID.557655-23
德國(guó)海德漢光柵尺LC493M 570 5.0ID.557640-11
德國(guó)海德漢光柵尺LS486-ML270mmID.285090-12
德國(guó)海德漢光柵尺LC183/10nm ML1040mmID 557679-10
德國(guó)海德漢光柵尺LF 183 2240 2.0 ML/2 .. G 52S12 .. 0.00 ~1Vpp 03 01 .. S10 4.000348225-46
德國(guó)海德漢光柵尺LS486C-ML120mmID.329991-65
德國(guó)海德漢光柵尺LB382 ML2440mmID 315416-25
德國(guó)海德漢光柵尺LF 183C 1040 2.0 4444 4444 G 52S12 .. 0.00 ~1Vpp 03 01 .. 4.000315106-33
德國(guó)海德漢光柵尺LS486C-ML570mmID.329993-19
德國(guó)海德漢光柵尺AE LF 183C 8.000 RN 52S12 .. 0.00~1Vpp 0.00 .. .. 03 01 VE01346164-04
德國(guó)海德漢光柵尺LS487 ML720mmID 344837-1E
緊湊外殼的直線光柵尺主要用于安裝空間有限的地方。如果測(cè)量長(zhǎng)度較大和加速負(fù)荷較大,可能需要使用安裝板或固定件。標(biāo)準(zhǔn)外殼直線光柵尺的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、抗振能力強(qiáng)和測(cè)量長(zhǎng)度大。讀數(shù)頭通過一個(gè)斜板與安裝架連接,因此允許安裝板在垂直位置安裝和水平位置安裝,并具有相同的防護(hù)等級(jí)。
封閉式直線光柵尺海德漢公司的封閉式直線光柵尺能有效防 塵、防切屑和防飛濺的切削液,是用于機(jī) 床的理想選擇。
精度等級(jí) ± 2 μm
測(cè)量步距至 0,001 μm
測(cè)量長(zhǎng)度至30 m
安裝簡(jiǎn)單、快捷
安裝公差大
能承受大加速度載荷
抗污染能力強(qiáng)
封閉式直線光柵尺有
標(biāo)準(zhǔn)光柵尺外殼
– 用于振動(dòng)強(qiáng)烈的應(yīng)用
– 測(cè)量長(zhǎng)度30 m
緊湊光柵尺外殼
– 用于有限安裝空間應(yīng)用
– 測(cè)量長(zhǎng)度1240 mm, 如果用安裝板或緊固件,測(cè)量長(zhǎng) 度2040 mm
海德漢封閉式直線光柵尺的鋁外殼有效保 護(hù)光柵尺、讀數(shù)頭和導(dǎo)軌,避免其受灰 塵、切屑和切削液的影響。 自動(dòng)向下壓的 彈性密封條保持外殼密封。
讀數(shù)頭沿光柵尺的小摩擦力導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。 讀 數(shù)頭通過一個(gè)聯(lián)軸器與外部安裝架連接, 聯(lián)軸器可以補(bǔ)償光柵尺與機(jī)床導(dǎo)軌間不可 避免的對(duì)正誤差。
機(jī)械結(jié)構(gòu)
用于數(shù)控機(jī)床的直線光柵尺為封閉式結(jié)構(gòu):鋁殼保護(hù)光柵尺、讀數(shù)頭和導(dǎo)軌,避免灰塵、切屑和切削液進(jìn)入。自動(dòng)向下壓的彈性密封條保持外殼密封。讀數(shù)頭沿光柵尺的小摩擦力導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。連接器將讀數(shù)頭與安裝塊連接在一起并補(bǔ)償光柵尺與機(jī)床導(dǎo)軌間的不對(duì)正誤差。光柵尺和安裝板間的橫向和軸向誤差允許為± 0.2 mm至± 0.3 mm,具體數(shù)值與光柵尺型號(hào)有關(guān)。
熱特性
切削速度的提高和全封閉機(jī)床的廣泛應(yīng)用使機(jī)床防護(hù)罩內(nèi)的溫度不斷提高。由于直線光柵尺的溫度特性直接決定機(jī)床加工精度,因此,直線光柵尺的溫度特性越來越重要。
通常,直線光柵尺的熱特性需與工件或被測(cè)對(duì)象一致。溫度變化時(shí),直線光柵尺的膨脹或收縮特性必須確定和可重復(fù)。海德漢公司的直線光柵尺就是符合這種要求的的光柵尺。
海德漢公司的直線光柵尺基體具有確定的熱膨脹系數(shù)(參見技術(shù)參數(shù))。因此,用戶可以選擇適合其應(yīng)用所需溫度特性的直線光柵尺。
海德漢HEIDENHAIN封閉式直線光柵尺NC數(shù)控機(jī)床用直線光柵尺(常規(guī)型號(hào)常年庫(kù)存,備貨充足)
動(dòng)態(tài)性能
機(jī)床效率和機(jī)床性能的不斷提高必然要求更快的進(jìn)給速度和更高的加速度,同時(shí)還必須保持高水平的加工精度。要快速和準(zhǔn)確地傳遞進(jìn)給運(yùn)動(dòng),就要求機(jī)床和直線光柵尺具有更高的剛性。海德漢公司的直線光柵尺在測(cè)量方向的剛
性非常高。這是機(jī)床能有高質(zhì)量和高精度運(yùn)動(dòng)的前提條件。此外,光柵尺優(yōu)良的動(dòng)態(tài)性能還來源于其運(yùn)動(dòng)部件重量的進(jìn)一步減輕。
可用性
機(jī)床進(jìn)給軸行程非常大,三年的運(yùn)動(dòng)行程通常要達(dá)到10 000 km。因此,光柵尺的長(zhǎng)期穩(wěn)定和堅(jiān)固可靠格外重要:它是保證機(jī)床穩(wěn)定可用的基礎(chǔ)。
由于海德漢公司的直線光柵尺在設(shè)計(jì)中充分考慮了各個(gè)細(xì)節(jié),即使光柵尺工作多年后依然能正常使用。非接觸的光電掃描測(cè)量基準(zhǔn)和光柵尺殼中的讀數(shù)頭的滾珠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)是光柵尺超長(zhǎng)使用壽命的保證。這種密閉式結(jié)構(gòu)和特殊的掃描原理以及壓縮空氣的正壓環(huán)境使海德漢公司的直線光柵尺具有強(qiáng)的抗污染能力。完善的防護(hù)措施確保了高水平的抗電氣噪聲的能力。
緊湊外殼的直線光柵尺主要用于安裝空間有限的地方。如果測(cè)量長(zhǎng)度較大和加速負(fù)荷較大,可能需要使用安裝板或固定件。標(biāo)準(zhǔn)外殼直線光柵尺的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、抗振能力強(qiáng)和測(cè)量長(zhǎng)度大。讀數(shù)頭通過一個(gè)斜板與安裝架連接,因此允許安裝板在垂直位置安裝和水平位置安裝,并具有相同的防護(hù)等級(jí)。
HEIDENHAIN海德漢光柵尺直線光柵尺現(xiàn)貨供應(yīng)商(您身邊的可靠渠道服務(wù)商)
海德漢光柵尺 LC 493F 式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m(分辨率達(dá)0.005 ?m),單場(chǎng)掃描精度高和移動(dòng)速度快,適用于安裝空間有限處;
海德漢光柵尺 LC 493M 式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m(分辨率達(dá)0.005 ?m),單場(chǎng)掃描精度高和移動(dòng)速度快,適用于安裝空間有限處;
海德漢光柵尺 LC 183 式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m(分辨率達(dá)0.005 ?m),單場(chǎng)掃描精度高和移動(dòng)速度快,能承受高振動(dòng)頻率,支持水平安裝;
海德漢光柵尺 LC 483 式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m(分辨率達(dá)0.005 ?m),單場(chǎng)掃描精度高和移動(dòng)速度快,適用于安裝空間有限處;
海德漢光柵尺 LF 183C 增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m,單場(chǎng)掃描精度高,溫度特性接近鋼材和鑄鐵,能承受高振動(dòng)頻率,支持水平安裝;
海德漢光柵尺 LF 481C 增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m,單場(chǎng)掃描精度高,溫度特性接近鋼材和鑄鐵,適用于安裝空間有限處;
海德漢光柵尺LF 481 增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m,單場(chǎng)掃描精度高,溫度特性接近鋼材和鑄鐵,適用于安裝空間有限處;
海德漢光柵尺LS 177C 增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.5 ?m,具有確定溫度特性,能承受高振動(dòng)頻率,支持水平安裝,單場(chǎng)掃描;
海德漢光柵尺 LS 187C 增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.5 ?m,具有確定溫度特性,能承受高振動(dòng)頻率,支持水平安裝,單場(chǎng)掃描;
海德漢光柵尺 LS 328C 用于手動(dòng)機(jī)床的增量式直線光柵尺;
海德漢光柵尺 LS 378C 用于手動(dòng)機(jī)床的增量式直線光柵尺;
海德漢光柵尺 LS 388C 用于手動(dòng)機(jī)床的增量式直線光柵尺;
海德漢光柵尺 LS 477C 增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為1 ?m和0.5 ?m,具有確定溫度特性,適用于安裝空間有限處,安裝板安裝簡(jiǎn)單;
海德漢光柵尺 LS 487C 增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.5 ?m,適用于安裝空間有限處,單場(chǎng)掃描;
海德漢光柵尺 LS 628C 增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為10 ?m和5 ?m,內(nèi)置導(dǎo)軌,通過連接桿支持大安裝公差;
海德漢光柵尺 LS 688C 增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為10 ?m和5 ?m,內(nèi)置導(dǎo)軌,通過連接桿支持大安裝公差;
海德漢光柵尺 LS 1679 增量封閉式直線光柵尺,內(nèi)置無摩擦滾珠導(dǎo)向,鋼桿上用滾珠軸承,通過連接桿支持大安裝公差;
海德漢光柵尺 LB 382C 測(cè)量長(zhǎng)度3040 mm(單段光柵尺殼),增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m,單場(chǎng)掃描精度高和移動(dòng)速度快,支持水平安裝,可提供鏡像結(jié)構(gòu)版本;
海德漢光柵尺 LC 193F 式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m(分辨率達(dá)0.005 ?m),單場(chǎng)掃描精度高和移動(dòng)速度快,能承受高振動(dòng)頻率,支持水平安裝;
海德漢光柵尺 LC 193M 式直線光柵尺,測(cè)量步距為0.1 ?m(分辨率達(dá)0.005 ?m),單場(chǎng)掃描精度高和移動(dòng)速度快,能承受高振動(dòng)頻率,支持水平安裝;
海德漢光柵尺 LB 271 大測(cè)量長(zhǎng)度增量式直線光柵尺,測(cè)量步距為5 ?m,支持水平安裝;
HEIDENHAIN海德漢光柵尺原裝原廠,質(zhì)保一年,常用型號(hào)列舉:
德國(guó)海德漢光柵尺LC183/10nm ML1440mmID 557679-14
德國(guó)海德漢光柵尺LC493F/50nm/ML920mmID.557642-17
德國(guó)海德漢光柵尺LC 495M ML 1740mmID 760949-25
德國(guó)海德漢光柵尺LC 495S DQ01 ML 370mmID 760943-07
德國(guó)海德漢光柵尺LC483/100nm ML520mmID 557654-14
德國(guó)海德漢光柵尺LC493FID:557655-22
德國(guó)海德漢光柵尺LS487C ML1740mmID 572248-24
德國(guó)海德漢光柵尺LS486-ML170mmID.285090-07
德國(guó)海德漢光柵尺LC493FID:557642-15
德國(guó)海德漢光柵尺LC483/10nm ML1640mmID 557647-24
德國(guó)海德漢光柵尺LS186C ML3040mmID 336963-35
德國(guó)海德漢光柵尺LS487 ML470mmID 572250-63
德國(guó)海德漢光柵尺LS186C ML940mmID 336963-20
德國(guó)海德漢光柵尺LS487 ML120mmID 344837-92
德國(guó)海德漢光柵尺LC193F/50nm/ML340MMID 557676-S2