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訂貨號557649-19線性光柵介紹
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訂貨號557649-19線性光柵
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光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。目前高分辨率的光柵尺一般造價較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對莫爾條紋進行細分,本系統(tǒng)采用了電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋,隨著光柵的移動,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量,同量莫爾條紋又具有光學放大作用,其放大倍數為 :
(1) 式中:W為莫爾條紋寬度;d為光柵柵距(節(jié)距);θ為兩塊光柵的夾角,rad
在一個莫爾條紋寬度內,按照一定間隔放置4個光電器件就能實現電子細分與羊向功能。本系統(tǒng)采用的光柵尺柵線為50線對/mm,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數脈沖,這在一般工業(yè)測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量,即要檢測其大小,又要檢測其方向,因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波,我們采用了由低漂移運放構成的差分放大器。由4個滏電器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端,從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2,為得到判向和計數脈沖,需對這兩路信號進行整形,首先把它們整形為占空比為1:1的方波,經由兩個與或非門74LS54芯片組成的四細分判向電路輸入可逆計數器,后送入由8031組成的單片機系統(tǒng)中進行處理。
HEIDENHAIN 編碼器 311830-02 ROC413 512 27S17-58停產新型號ROC 413 512 27S17-58 A 1109254-01
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