三維磁場探針臺(tái)產(chǎn)品概述：

公司提供的一維 、二維 、三維磁場探針臺(tái)，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間一維 、二維 、三維磁場。線圈可采用風(fēng)冷（磁場較小）也可采用水冷結(jié)構(gòu)（磁場較大），并且配備有線圈過熱保護(hù)裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時(shí)間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺(tái)配備有可移動(dòng)樣品臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng)，便于樣品的安裝和測試。探針臺(tái)具有四個(gè)高精度探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

三維磁場探針臺(tái)應(yīng)用范圍：

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺(tái)自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成。

三維磁場探針臺(tái)可選附件：

þ 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線

þ CCD或C-MOS視頻成像裝置

þ Chuck運(yùn)動(dòng)裝置

þ 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

þ 1Mpa正壓系統(tǒng)升級

þ 超高溫升級選件

þ 超高真空升級選件

þ 各類探針夾具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 轉(zhuǎn)接頭

þ 靜音真空泵

 三維磁場探針臺(tái)技術(shù)指標(biāo)：