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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
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1179C 是一款通用質(zhì)量流量控制器，設(shè)計(jì)用于測(cè)量和控制各種應(yīng)用中的氣體流量。1179 Mass-Flo® 控制器的滿量程范圍為 10 sccm 至 20 slm，可提供低至 0.2 sccm 的快速、可重復(fù)的流量控制。當(dāng)連接到合適的壓力傳感器時(shí)，它也可以用作壓力控制器。
產(chǎn)品分類品牌分類
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西克sick其他傳感器 西克sick距離傳感器 西克sick識(shí)別解決方案 西克sick熒光傳感器 西克sick色標(biāo)傳感器 西克sick自動(dòng)化光柵 西克sick編碼器 西克sick氣體分析儀 西克sick工業(yè)圖像處理 西克sick定位解決方案 西克sick安全 西克sick伺服反饋編碼器 西克sick磁性氣缸傳感器 西克sick電感式接近傳感器 西克sick電容及磁性接近傳感器 西克sick流量傳感器 西克sick流量測(cè)試技術(shù) 西克sick流體傳感器 西克sick傾斜傳感器 西克sick安全雷達(dá)傳感器 西克sick中程距離傳感器 西克sick光纖傳感器 西克sick光電傳感器 西克SICK傳感器 流體傳感器 慣性傳感器 光澤傳感器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
美國(guó)mks傳統(tǒng)質(zhì)量流量控制器
1179C 是一款通用質(zhì)量流量控制器，設(shè)計(jì)用于測(cè)量和控制各種應(yīng)用中的氣體流量。1179 Mass-Flo® 控制器的滿量程范圍為 10 sccm 至 20 slm，可提供低至 0.2 sccm 的快速、可重復(fù)的流量控制。當(dāng)連接到合適的壓力傳感器時(shí)，它也可以用作壓力控制器。
流量范圍從 10 sccm 到 20 slm
傳感器設(shè)計(jì)提供出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性
快速預(yù)熱時(shí)間可最大限度地減少代價(jià)高昂的生產(chǎn)停機(jī)時(shí)間
與早期的 MKS MFC 和電源/讀出模塊兼容
規(guī)格
控制范圍 滿量程的 2% 至 100%
滿量程流量范圍 10、20、50、100、200、500、1000、2000、5000、10000、20000 sccm（相當(dāng)于 N2）
配件類型 世偉洛克® 4 VCR®， 世偉洛克 4 VCO®， 1/4“ 世偉洛克®
模擬量 I/O 連接器 9 針或 15 針“D"型
密封材料 丁腈橡膠， 氯丁橡膠®， 卡爾雷斯®
最大入口壓力 150 磅/平方英寸
正常工作壓差 10 至 40 psid（10 至 5000 sccm）15 至 40 psid（10000 至 30000 sccm）（MFC 出口處有大氣壓）
典型精度 滿量程的 ±1.0%
重復(fù)性 滿量程的 ±0.2%
分辨率 滿量程的 0.1%
零溫度系數(shù) <滿量程的0.05%/°C
量程溫度系數(shù) <讀數(shù)的0.08%/°C
壓力系數(shù) <讀數(shù)/平方英寸的 0.02%
預(yù)熱時(shí)間 2 分鐘
典型建立時(shí)間<2 秒
工作溫度 0° 至 50°C
電源要求 ±15 VDC（200 mA 啟動(dòng)，100 mA 穩(wěn)態(tài)）
設(shè)定點(diǎn)命令信號(hào) 0 至 5 VDC，<20K Ω
接液材料 316L 不銹鋼， 氟橡膠®， 鎳
外部泄漏完整性 < 1 x 10-9
通過(guò)關(guān)閉閥門實(shí)現(xiàn)泄漏完整性<1.0% 滿量程，40 psig 入口大氣
合規(guī) 行政長(zhǎng)官
美國(guó)mks傳統(tǒng)質(zhì)量流量控制器型號(hào)：
1179C01311CR1BV 1179C01311CS1BV 1179C01312CR1BV 1179C01312CS1BV 1179C01313CR1BV
1179C01313CS1BV 1179C01314CR1BV 1179C01314CS1BV 1179C01321CR1BV 1179C01321CS1BV
1179C01322CR1BV 1179C01322CS1BV 1179C01323CR1BV 1179C01323CS1BV 1179C01324CR1BV
1179C01324CS1BV 1179C01351CR1BV 1179C01351CS1BV 1179C01352CR1BV 1179C01352CS1BV
1179C01353CR1BV 1179C01353CS1BV
形狀-配合-功能替換 MFC
1179C 是當(dāng)今市場(chǎng)上最常見的 MFC 的直接形狀配合功能替代品。標(biāo)準(zhǔn)的 3 英寸基底面使 1179C 能夠直接插入同一空間，而無(wú)需修改現(xiàn)有的氣體管路。電連接器是相同的“D"型連接器，具有與行業(yè)同類產(chǎn)品相同的引腳、信號(hào)和功能，因此無(wú)需重新布線電纜或連接器。1179C 與 MKS 或其他制造商的 MFC 電源和顯示電子設(shè)備兼容。
形狀-配合-功能替換 MFC
1179C 是當(dāng)今市場(chǎng)上最常見的 MFC 的直接形狀配合功能替代品。標(biāo)準(zhǔn)的 3 英寸基底面使 1179C 能夠直接插入同一空間，而無(wú)需修改現(xiàn)有的氣體管路。電連接器是相同的“D"型連接器，具有與行業(yè)同類產(chǎn)品相同的引腳、信號(hào)和功能，因此無(wú)需重新布線電纜或連接器。1179C 與 MKS 或其他制造商的 MFC 電源和顯示電子設(shè)備兼容。