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UNIPOL-1203化學機械磨拋機

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 南京市
在線詢價 收藏產(chǎn)品

更新時間:2021-03-03 15:12:14瀏覽次數(shù):418

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應用領域 環(huán)保,化工,石油
產(chǎn)品簡介:UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

詳細介紹

產(chǎn)品名稱

UNIPOL-1203化學機械磨拋機

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及下排水

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:無

4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風裝置:不需要

主要特點

1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。

2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.01mm)。

3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。

4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時間。

5、配置自動滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動研磨和拋光。

6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。

7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。

技術參數(shù)

主機部分

GPC-100A精密磨拋控制儀

自動滴料器

1、電源:220V

2、功率:450W

3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm

4、磨拋工位:2個

5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔

6、托盤端跳:0.008/250mm

7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

8、載樣盤:φ105mm

9、修盤環(huán):φ127.5mm

 

 

1、載樣盤直徑:Ø103mm

2、載樣盤軸向行程:12mm

3、數(shù)顯表精度:0.001mm

4、載樣盤可調(diào)加載壓力:

            0.1kg-2.1kg

5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g

6、樣品裝卡方式:真空吸附

7、承載樣件尺寸:

  直徑≤103mm、 厚度≤12mm

8、尺寸:外徑146mm,高266mm

 

SKZD-2滾筒滴料器

1、容積:1.5L

2、流量:0-35ml/min

3、尺寸:170×290×350mm;

  重量:3kg

SKZD-4自動滴料器

1、加液泵:4個

2、料液瓶:600ml/瓶

3、計時范圍:1-999min

4、流量:0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸:230×370×450mm;

  重量:10kg

產(chǎn)品規(guī)格

1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

2、重量:74Kg

標準配件

1

鑄鐵研磨盤1個研磨盤

2

不銹鋼拋光盤

1個

3

載物盤

1個

4

修盤環(huán)

1個

5

SKZD-2滴料器

1個

滴料器

6

SKZD-4自動滴料器

1個

滴料器

7

GPC-100A精密磨拋控制儀

1個

8

拋光墊

(磨砂革、合成革、聚氨酯)

各1片

9

剛玉研磨微粉

0.5kg

10

石蠟棒

4根

可選配件

1、YJXZ-12攪拌循環(huán)泵

2、精密測厚儀

3、陶瓷研磨盤

4、玻璃研磨盤

5、磁性樹脂金剛石研磨片

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