目錄:青島天仁微納科技有限責(zé)任公司>>納米壓印配套設(shè)備>> GL MegaClean單片式兆聲波清洗設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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儀器種類 | 專用型 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
GL MegaClean單片式兆聲波清洗設(shè)備主要用于晶圓清洗等工藝。
GL MegaClean單片式兆聲波清洗設(shè)備主要功能
●基材尺寸大300mm直徑以下圓片清洗
●單片掃描式毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗
●適用于清洗納米壓印基材表面
●適用于母模具表面無損清洗(兆聲波清洗)
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