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| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 場發(fā)射 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,生物產(chǎn)業(yè) |
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超前的電腦輔助技術(shù)將電鏡的操作與控制提升到一個新水平。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8100
"Regulus系列"是日立*的FE-SEM的全新品牌，包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。
新型高分辯場發(fā)射掃描電鏡
掃描電子顯微鏡（SEM）被廣泛應用于納米技術(shù)，半導體?電子行業(yè)，生命科學，材料科學等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來，新一代的電子器件應用中受到廣泛期待的新型碳材料，高分子材料，復合材料等的研究作為*科學技術(shù)的中堅技術(shù)，在范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價，但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外，在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。
新型高分辯場發(fā)射掃描電鏡
本次發(fā)布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了*化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護輔助功能等。
主要特點
- 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍
- 跟前代機型相比分辨率大約提高了20%
（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV） - 最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1
- 用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能*發(fā)揮出來
主要參數(shù)
名稱 | Regulus8100 | Regulus8240/8230/8220 |
二次電子分辨率 | 0.8 nm（加速電壓 15 kV） | 0.7 nm（加速電壓 15 kV） |
加速電壓 | 0.5~30 kV | 0.5~30 kV |
著陸電壓*2 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV |
倍率 | 20~1,000,000倍*3 | 20~2,000,000倍*3 |
馬達臺控制 | 3軸自動*4 | 5軸自動 |
*1 僅限 Regulus8240/8230/8220
*2 減速模式觀察
*3 127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率
*4 5軸馬達臺為選配項