布魯克 Micro-XRF On SEM 光譜儀存在一系列不同的分析技術(shù)，以便從代表單一礦物相的較小區(qū)域獲取地球化學(xué)信息。常見(jiàn)的分析技術(shù)基于電子束（e-beam）源，即電子探針微分析儀 （EPMA） 或帶有能量分散光譜儀的 SEM（SEM - EDS)。

同樣，Micro-XRF分析可被視為電子束激發(fā)的補(bǔ)充技術(shù)，它也提供小區(qū)域樣本信息。Micro-XRF 基于光子激發(fā)，樣品會(huì)直接通過(guò) X 射線 （(X-Ray-beam） 發(fā)生作用，與傳統(tǒng)的基于電子束的系統(tǒng)相比，X 射線束具有明顯的差異?，F(xiàn)代 X 射線多面體光學(xué)的可用性使 X 射線能夠聚焦到小于 30μm 的點(diǎn)大小，并且所有光片都包含在XTrace，可安裝在可用SEM端口上的XRF源（圖1）。這導(dǎo)致顯微鏡系統(tǒng)具有雙光束的潛力，即電子束和X射線束。因此，可以使用與電子束系統(tǒng)類似的參數(shù)操作 Micro-XRF 系統(tǒng)，從而產(chǎn)生與傳統(tǒng)點(diǎn) SEM-EDS 分析相媲美的結(jié)果，同時(shí)從X射線光束樣本相互作用中獲取其他信息。

布魯克 Micro-XRF On SEM 光譜儀是利用掃描電子顯微鏡（SEM）對(duì)傳統(tǒng)能量分散光譜（EDS）分析的一種互補(bǔ)的無(wú)損分析技術(shù)。這種分析對(duì)于在未知樣本中描述元素成分非常重要，從大厘米大小的同構(gòu)標(biāo)本到小微米顆粒。

X射線激發(fā)對(duì)微量元素檢測(cè)（某些元素的靈敏度低至10ppm）、擴(kuò)展的 X 射線光譜范圍（高達(dá) 40 keV）以及樣本中更深入的信息具有更高的靈敏度。

配備X射線管，結(jié)合微聚焦X射線光學(xué)，可產(chǎn)生30μm的小點(diǎn)大小，具有高強(qiáng)度信號(hào)產(chǎn)額。

模塊化的壓電陶瓷piezo-based stage，專門設(shè)計(jì)安裝在現(xiàn)有的SEM階段之上，使高速元素X射線秒掃描mapping"“on the fly"大面積高達(dá)4毫米/秒的速度。這使X射線映射數(shù)據(jù)能夠在50x50 mm（或更高）的樣本大小上采集，將光元素光譜數(shù)據(jù)以及微量元素和/或更高能量X射線數(shù)據(jù)整合到快速且用戶友好的工作流中。

X射線激發(fā)的更大深度允許多層系統(tǒng)從1納米開(kāi)始，范圍高達(dá)40μm，這是不可能被電子激發(fā)出來(lái)的。