目錄:陜西易度智能科技有限公司>>產(chǎn)品特性分類>>應(yīng)用特點(diǎn)>> MC100應(yīng)用金剛石CVD氣體質(zhì)量流量控制器
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,化工,制藥,電氣 | 精度 | ±1.0%S.P. |
|---|---|---|---|
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | 工作流量范圍 | 1%~100%F.S. |
| 介質(zhì)溫度 | -20℃~60℃ | 環(huán)境溫度 | -20℃~50℃ |
| 使用濕度 | 0%~98%（無冷凝） | 工作壓力 | 0-1MPa |
| 供電電壓 | 24V±20% | 量程范圍 | 0.5sccm~500slpm |
易度智能MC100系列，是一款應(yīng)用金剛石CVD氣體質(zhì)量流量控制器，其可用多種氣體，具有高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)、高穩(wěn)定性等優(yōu)勢。
特征：
l 原理：層流壓差式原理
l 便捷操作：提供上位機(jī)軟件設(shè)定流量。
l 核心優(yōu)勢：單機(jī)可用多種氣體，較快的響應(yīng)時間，并且可以設(shè)定后自主運(yùn)行的性能
l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)
l 實(shí)時顯示4種過程變量
l 內(nèi)置60多種氣體，簡單切換氣體，無需查找、輸入系數(shù)，可自主編輯混合氣體
l 無需預(yù)熱時間，開機(jī)即可使用，減少貴重氣源浪費(fèi)。
產(chǎn)品規(guī)格：
l 產(chǎn)品型號：MC100
l 量程范圍：0.5sccm~500slpm
l 閥門種類：N/C（常閉型）
性能參數(shù)：
l 精度：±1.0%S.P.(設(shè)定值)(20%～100%量程范圍) ±0.2%F.S.(滿量程)(1%～10%量程范圍)
l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.
l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100kPaA； Span：≤±0.2%F.S./100kPaA（基準(zhǔn)100kPaA)
l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度25℃）
l 零點(diǎn)漂移：±0.2%F.S./年
l 工作范圍：1%~100%F.S.
l 響應(yīng)時間：≤700ms.
l 啟動預(yù)熱時間：1s
使用條件：
l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃
l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃
l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）
l 工作壓力：0~1Mpa
l 耐壓：1.5Mpa
l 工作壓差范圍：100kPa~600kPa
l 供電電壓：24V±20%
l 消耗電流：＜500mA （＜12V）
l 安裝方式：任意角度
l 接氣部材質(zhì)：SUS316L
l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）
l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠
通訊方式：
l 數(shù)字信號：RS485，Profibus
l 模擬信號：4-20mA，0-5V
應(yīng)用場景
l 金剛石生產(chǎn)過程中的氣體流量控制
l CVD設(shè)備中的氣體流量控制
l 化學(xué)氣相沉積中的氣體流量控制
MC100應(yīng)用金剛石CVD氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)置多種氣體，方便用戶使用?？焖夙憫?yīng)可迅速糾偏，抗氣源壓力波動，層流壓差原理使得產(chǎn)品具有較高的可靠性和穩(wěn)定性。內(nèi)置高精度的溫度和壓力傳感器，確保產(chǎn)品具有極低的溫漂和壓漂，長期穩(wěn)定性較好，產(chǎn)品連續(xù)在線工作控制準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性好。
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