AE 直流電源 MDX 10K-SLAVE 10KW DC電源 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗(yàn)證的具有高可靠性、優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的直流電源設(shè)備。AE MDX Series 直流電源使用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)來提供嚴(yán)格的調(diào)節(jié)、高轉(zhuǎn)換效率和低存儲能量的輸出。采用微處理器控制和模塊化設(shè)計(jì)，易于使用、維護(hù)和維修。AE MDX Series 直流電源能在真空環(huán)境中持續(xù)使用提供可靠的電源，通常用作直流磁控濺射驅(qū)動(dòng)器，可提供嚴(yán)格的調(diào)節(jié)、優(yōu)良的滅弧和低存儲輸出能量。該系列直流電源設(shè)備適合用作硬涂層系統(tǒng)和射頻濺射和蝕刻系統(tǒng)中的大功率偏置電源。

AE 直流電源 MDX 10K-SLAVE 10KW DC電源 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號：MDX 10K-SLAVE

AC 電源輸入：3 phase~，200~208V，19A~5kw，38A~10kw，50/60Hz

輸出功率：5KW/10KW

通訊接口：Intercon A/B，USER

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱

AE MDX 10K-SLAVE 設(shè)備特點(diǎn)

1.磁控濺射

2.陰極電弧沉積

3.直流偏置

4.500W~80KW