供貨周期 |
現(xiàn)貨 |
貨號(hào) |
FP3319R1 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
型號(hào) |
CX-2500S |
P/N |
FP3319R1 |
頻率 |
13.56MHz |
輸出功率 |
2500W |
設(shè)備狀態(tài) |
Refurblished |
COMDEL 射頻電源 CX2500S 13.56MHz 2500W RF GENERATOR 射頻發(fā)生器是一款具有高可靠性高頻射頻電源,應(yīng)用范圍包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD,以及工業(yè)系統(tǒng)中的感應(yīng)和介質(zhì)加熱過(guò)程。
COMDEL 射頻電源 CX2500S 13.56MHz 2500W RF GENERATOR 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證的、可靠的高性能、高頻率的射頻發(fā)生器。COMDEL CX Series 射頻電源的輸出功率范圍在600W~2500W,射頻輸出頻率為2MHz~30MHz,頻率調(diào)諧能力高達(dá)10帶寬。該系列設(shè)備的固態(tài)設(shè)計(jì)具有高可靠性,擁有成本低。COMDEL CX Series的設(shè)計(jì)是為了滿(mǎn)足RF驅(qū)動(dòng)等離子體系統(tǒng)在半導(dǎo)體加工中的性能需求,應(yīng)用包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD,以及工業(yè)系統(tǒng)中的感應(yīng)和介質(zhì)加熱過(guò)程,以及太陽(yáng)能光伏應(yīng)用。
COMDEL 高頻射頻電源 CX Series 特點(diǎn)
1.高頻射頻電源,頻率為2MHz~30MHz
2.久經(jīng)測(cè)試的可靠的真空等離子設(shè)備
3.較高的射頻調(diào)諧能力
COMDEL 射頻電源 CX2500S 13.56MHz 2500W RF GENERATOR 規(guī)格
1.AC輸入:208VAC,3 phase,50-60Hz
2.射頻輸出:2500W,13.56MHz
3.水冷進(jìn)水需求:MAX 水溫 35℃,MIN 水流 10 GPM/min
4.通訊接口:J1 REMOTE I/O ; J2 RS-232c


