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ULVAC 射頻電源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W 返回列表頁

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產(chǎn)品型號(hào)ULVAC RFS-2705A3

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地揚(yáng)州市

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更新時(shí)間：2023-11-23 13:56:35瀏覽次數(shù)：224次

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產(chǎn)品分類品牌分類

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

供貨周期	現(xiàn)貨	貨號(hào)	56170243
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子,電氣,綜合	主要用途	RF GENERATOR
型號(hào)	RFS-2705A3	L/N	56170243
頻率	27.12MHz	輸出功率	500W
設(shè)備狀態(tài)	Refurblished

ULVAC 射頻電源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W 通過采用高效的射頻放大器實(shí)現(xiàn)設(shè)備的緊湊和輕巧設(shè)計(jì)，射頻電源內(nèi)置自動(dòng)匹配控制器功能，射頻電源的功率控制和匹配系統(tǒng)控制可以單獨(dú)通過主機(jī)進(jìn)行。

詳情介紹

ULVAC 射頻電源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W RF Generator 射頻發(fā)生器通過采用高效的射頻放大器實(shí)現(xiàn)設(shè)備的緊湊和輕巧設(shè)計(jì)，射頻電源內(nèi)置自動(dòng)匹配控制器功能，射頻電源的功率控制和匹配系統(tǒng)控制可以單獨(dú)通過主機(jī)進(jìn)行。主要應(yīng)用領(lǐng)域包括濺射和化學(xué)汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。

ULVAC射頻電源 RFS Series 特點(diǎn)

功率范圍：0.5kW ~ 5kW

采用高效放大器：通過具有良好的功率轉(zhuǎn)換效率的射頻電路結(jié)構(gòu)，節(jié)約能源

高速自動(dòng)匹配：用高速算法實(shí)現(xiàn)高速自動(dòng)匹配

射頻功率發(fā)生器內(nèi)部配備了自動(dòng)匹配功能：與發(fā)電機(jī)組本身匹配的系統(tǒng)控制是可能的，還能手動(dòng)操作射頻功率發(fā)生器和匹配箱，配合內(nèi)部控制器操作

支持靈活的控制配置：可對(duì)外進(jìn)行模擬和串行通信控制

高可靠性：設(shè)計(jì)中結(jié)合了多年的設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)

ULVAC 射頻電源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W RF Generator 規(guī)格

AC 輸入：AC250V，1A，3 phase，50/60Hz，1.3KVA

RF 輸出：500W，27.12MHz

輸出阻抗：50Ω

諧波失真率：-35dB或更低