DAIHEN 射頻網(wǎng)絡匹配器 FRM-50D RF Match 是經(jīng)過長期驗證的設計優(yōu)秀、性能可靠的射頻阻抗網(wǎng)絡匹配器。匹配效率高，速度快，能夠高效地降低反射，減少射頻損耗，提升能源效益，降低客戶的使用成本。DAIHEN FRM系列射頻阻抗網(wǎng)絡匹配器響應速度快，能夠對反射功率經(jīng)行快速偵測和控制，從而對等離子工藝經(jīng)行高性能，高可靠性和精確控制。專為半導體和關鍵的薄膜應用設計，廣泛應用在半導體晶圓制程中，FPD行業(yè)的LCD，OLED，封裝產(chǎn)業(yè)，以及微機電產(chǎn)業(yè)中3D集成TSV工藝中。

DAIHEN 射頻網(wǎng)絡匹配器 FRM-50D RF Match 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：DAIHEN

設備型號：FRM-50D

DC Input：24V，7A

RF 輸入頻率：40.68MHz / 12.88MHz

輸出功率：3000W / 5000W

通信接口：DeviceNet，Debug，Pulse In/Out

設備散熱：風冷散熱

設備重量：25kg