日本Otsuka大塚MINUK光波動場三次元顯微鏡
- 公司名稱 成都藤田科技有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/2/21 10:18:33
- 訪問次數(shù) 35
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本Otsuka大塚MINUK光波動場三次元顯微鏡-成都藤田科技提供
Smart膜厚儀 vs OPTM顯微分光膜厚儀——革新光學(xué)測量的雙引擎
核心對比與OPTM優(yōu)勢:
技術(shù)差異化:
OPTM系列:基于分光干涉法,結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng),實現(xiàn)反射率分析,支持超薄膜(1nm)與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu),技術(shù)解決透明基板干擾。
Smart膜厚儀:側(cè)重便攜性與快速篩查,適用于常規(guī)單層膜厚測量,但精度與功能擴(kuò)展性不及OPTM系列。
應(yīng)用場景:
OPTM適用于研發(fā)(R&D)與高精度QC,如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片;Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線快速抽檢。
性價比優(yōu)勢:OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度,且操作門檻更低,軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯,確保數(shù)據(jù)可靠性。
產(chǎn)品信息
特點
可評價nm級的透明的異物?缺陷 一次拍照即可瞬時獲得深度方向的信息 無需對焦,可高速測量 可非破壞?非接觸?非侵入的測量 可在任意的面進(jìn)行高速掃描,輕松決定測量位置
規(guī)格
分辨率 x , y | 6 9 1n m( 一次拍照)、4 8 8 n m( 合成) |
視野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
分辨率 z | 10nm(相位差) |
視野 z | ±700μm |
樣品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm(安裝通用樣品架時) |
樣品臺 | 微動X Y樣品臺(自動) X:±10 mm Y:±10 mm 粗動樣品臺 X:12 9 mm Y:8 5 mm |
激光 | 波長 6 3 8 nm 輸出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 對測量樣品的照射強(qiáng)度) |
尺寸(長×寬×高)mm | 本體:5 0 5(W)×6 3 0(D)×4 3 9(H) ± 2 0 m m ※不含P C、附屬品 |
重量 | 41k g |
功耗 | 本體:2 9 0 VA ※不含P C、附屬品 |
測量案例
將肉眼無法看見的透明薄膜表面可視化?定量化
可以非接觸、非破壞性、非侵入性地獲得nm級的形狀信息。通過一次拍照即可獲取深度方向的信息,可以將透明薄膜表面上肉眼不可見的劃痕和缺陷的橫截面形狀數(shù)值化實現(xiàn)可視化。
觀察透明薄膜內(nèi)部的填充劑
肉眼無法看到的透明薄膜內(nèi)部的填充劑,通過一次拍照即可觀察到。此外,通過在測量后改變深度方向的焦點,可以識別到各個深度的填充劑。
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