*海德漢封閉式光柵尺傳感器 光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對莫爾條紋進行細(xì)分,目前(2006年)光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量。在一個莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置4個光電器件就能實現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,柵線為50線對/mm的光柵尺,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖,這在工業(yè)普通測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量,即要檢測其大小,又要檢測其方向,因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波,通常采用由低漂移運放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端,從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2,為得到判向和計數(shù)脈沖,需對這兩路信號進行整形,首先把它們整形為占空比為1:1的方波。然后,通過對方波的相位進行判別比較,就可以等到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進行計數(shù),可以等到光柵尺的位移和速度。 封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液,是用于機床的理想選擇。敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括:測量機、比較儀和其它長度計量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測量設(shè)備,例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中。增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點開始數(shù)測量步距或細(xì)分電路的計數(shù)信號數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點,開機時必須執(zhí)行參考點回零,操作非常簡單、快捷。光柵尺無需執(zhí)行參考點回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。閉環(huán)中的海德漢直線光柵尺確保工件高精度。 海德漢公司的封閉式直線光柵尺能有效防 塵、防切屑和防飛濺的切削液,是用于機 床的理想選擇。 精度等級 ± 2 μm 測量步距至 0,001 μm 測量長度至30 m 安裝簡單、快捷 安裝公差大 能承受大加速度載荷 抗污染能力強 *海德漢封閉式光柵尺傳感器
光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器,是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應(yīng)速度快的特點。例如,在數(shù)控機床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。標(biāo)尺光柵一般固定在機床固定部件上,光柵讀數(shù)頭裝在機床活動部件上,指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。光柵檢測裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭)。 我公司在美國、德國的公司均為威斯特,美國公司自己報關(guān) ecn223f、ecn223m、ecn225、rcn223f、rcn223m、rcn227f、rcn227m、rcn727m、rcn827f、rcn827m、rcn226、rcn228、rcn729、rcn829、rod220、rod270、rod280、rod780、rod880、ron225、ron275、ron285、ron287、ron785、ron786、era780c、era781c、era880c、era881c、ecn113、ecn125、ecn413、ecn425、ecn1313、ecn1325、ecn1125、eqn425、eqn1437、eqn1325、eqn1337、ern120 、ern430、ern460、ern480、ern1080、ern1185、ern1020、ern1070、ern1085、ern1185、ern1387、ern1381、ern1331、oc413、roc425、rod420、rod426、rod436 *海德漢封閉式光柵尺傳感器 |