固體介質(zhì)的擊穿常見有電擊穿、熱擊穿和電化學擊穿三種形式。其擊穿電場強度與電壓作用時間的關(guān)系及不同擊穿形式的范圍如下圖所示。固體電介質(zhì)擊穿后，出現(xiàn)燒焦或熔化的通道裂縫等，即使去掉外施電壓，也不像氣體、液體電介質(zhì)那樣，能自己恢復絕緣性能（指氣體或液體絕緣在電弧作用下還沒有發(fā)生強烈的化學變化之前）。

電擊穿

固體電介質(zhì)電擊穿的理論是以在介質(zhì)中發(fā)生碰撞電離為基礎(chǔ)的。它不包括由邊 緣效應、介質(zhì)劣化等因素引起的擊穿。

固體電介質(zhì)的中間存在少量處于導電能量狀態(tài)的電子（傳導電子）。它在電場加速下將與晶格點上的原子碰撞，但因固體介質(zhì)中的原子相互聯(lián)系十分緊密，所以必須考慮傳導電子與晶格碰撞。

由碰撞電離引起擊穿有下述兩種解釋：固體擊穿理論是考慮單位時間傳導電子從電場中獲得的能量與單位時間內(nèi)由于碰撞而失去的能量之間，因不平衡而引起擊穿；另一種擊穿理論則認為：傳導電子由電場作用得到了可使晶格原子電離的能量,產(chǎn)生了電子崩，當電子崩發(fā)展到足夠強時，引起固體電介質(zhì)擊穿。

電擊穿的特點：電壓作用時間短，擊穿電壓高，電介質(zhì)溫度不高；擊穿場強與電場均勻程度有密切關(guān)系，而與周圍環(huán)境溫度的高低幾乎無關(guān)。