KYOSAN 射頻電源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。RFK 系列射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。RFK系列射頻電源廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體薄膜工藝中，具有優(yōu)良可靠的成膜能力，可在一定程度上提升產(chǎn)線效率。

KYOSAN 射頻電源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW RF Generator 規(guī)格參數(shù)

設(shè)備型號：RFK30ZCPS1

AC 電源輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，19A

RF 射頻輸出：13.56MHz，3KW

諧波失真：≤ -45dB

輸出：MOS-FET                    

輸出接口：HN type                                                          

散熱方式：水冷散熱

水冷進(jìn)水流速：6L/min

設(shè)備重量：41kg

通信接口：RS-232C、INTERFACE