KYOSAN 射頻電源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應用的業(yè)界前沿的可重復電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源在半導體薄膜工藝中可以憑借其較快的成膜能力提高產線效率，此外嚴格的設計和制造工藝也決定該型射頻電源具有精準的射頻控制能力。

KYOSAN 射頻電源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW RF Generator 規(guī)格

設備型號：RFK-75Z-UV1

AC輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，46A

RF輸出：13.56MHz，7.5KW

諧波失真：≤ -45dB

輸出：MOS-FET

輸出接口：HN type                                                                                                                    

散熱方式：水冷散熱

水冷進水流速：6L/min

設備重量：86kg