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KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW 返回列表頁

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產(chǎn)品型號RFK100ZD-TE2

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地揚(yáng)州市

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更新時間：2023-11-23 13:05:39瀏覽次數(shù)：366次

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產(chǎn)品分類品牌分類

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

供貨周期	現(xiàn)貨	貨號	WB3344
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子,電氣,綜合	主要用途	RF GENERATOR
品牌	KYOSAN	型號	RFK100ZD-TE2
L/N	WB3344	頻率	13.56MHz
輸出功率	10KW	設(shè)備狀態(tài)	Refurblished

KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。

詳情介紹

KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體薄膜工藝中，優(yōu)良的成膜能力，能夠在一定程度上提升產(chǎn)能。嚴(yán)格的制造工藝讓該型射頻電源具有優(yōu)秀的射頻精準(zhǔn)控制，堅固耐用。

KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 規(guī)格

設(shè)備型號：RFK100ZD-TE2

AC輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，44A

RF輸出：13.56MHz，10KW

諧波失真：≤ -45dB

輸出：MOS-FET

輸出接口：HN type

散熱方式：水冷散熱

水冷進(jìn)水流速：8L/min

設(shè)備重量：70kg

通信接口：RS-232C、MB-Signal